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產(chǎn)品中心

臺階儀
產(chǎn)品簡介:

P-17臺階儀是臺式探針輪廓儀,是多年的表面量測經(jīng)驗的結晶。支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,其掃描可達200mm而無需圖像拼接。

產(chǎn)品型號:P-17

更新時間:2024-11-20

廠商性質(zhì):代理商

訪問量:520

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產(chǎn)品介紹

P-17支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量,適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,其掃描可達200mm而無需圖像拼接。


產(chǎn)品描述

P-17是臺式探針輪廓儀,是多年的表面量測經(jīng)驗的結晶。支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,其掃描可達200mm而無需圖像拼接。


該系統(tǒng)結合了UltraLite傳感器、恒力控制和超平掃描平臺,因而具備出色的測量穩(wěn)定性。 通過點擊式平臺控制、頂視和側視光學系統(tǒng)以及帶光學變焦的分辨率相機等功能,程序設置簡便快速。 P-17具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調(diào)平和分析算法,可以支持2D或3D測量。 并通過圖案識別、排序和特征檢測實現(xiàn)全自動測量。


臺階儀主要功能

  •       臺階高度:幾納米至1000μm

  •       微力恒力控制:0.03至50mg

  •       樣品全直徑掃描,無需圖像拼接

  •       視頻:500萬像素分辨率彩色攝像機

  •       圓弧校正:消除由于探針的弧形運動引起的誤差

  •       軟件:簡單易用的軟件界面

  •       生產(chǎn)能力:通過測序、圖案識別和SECS/GEM實現(xiàn)全自動化


臺階儀主要應用

  •       臺階高度:2D和3D臺階高度

  •       紋理:2D和3D粗糙度和波紋度

  •       形狀:2D和3D翹曲和形狀

  •       應力:2D和3D薄膜應力

  •       缺陷復檢:2D和3D缺陷表面形貌

工業(yè)應用

  •       大學、研究實驗室和研究所

  •       半導體和化合物半導體

  •       LED:發(fā)光二極管

  •       太陽能

  •       MEMS:微機電系統(tǒng)

  •       數(shù)據(jù)存儲

  •       汽車

  •       醫(yī)療設備

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