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產(chǎn)品中心

當(dāng)前位置：首頁產(chǎn)品中心暖通環(huán)保檢測儀Lumina AT1薄膜缺陷檢測儀

Lumina AT1薄膜缺陷檢測儀
產(chǎn)品簡介：

Lumina AT1薄膜缺陷檢測儀實現(xiàn)亞納米薄膜涂層、納米顆粒、劃痕、凹坑、凸起、應(yīng)力點和其他缺陷的全表面掃描和成像。實用于透明、硅、化合物半導(dǎo)體和金屬基底。

產(chǎn)品型號：

更新時間：2024-11-20

廠商性質(zhì)：代理商

訪問量：497

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4006981718

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產(chǎn)品介紹

Lumina AT1薄膜缺陷檢測儀實現(xiàn)亞納米薄膜涂層、納米顆粒、劃痕、凹坑、凸起、應(yīng)力點和其他缺陷的全表面掃描和成像。實用于透明、硅、化合物半導(dǎo)體和金屬基底。在3分鐘內(nèi)掃描并顯示150毫米晶圓。可以標(biāo)刻出缺陷的位置，以便進(jìn)一步分析。 可容納高達(dá)300 x 300 mm的非圓形和易碎基板。 能夠通過一次掃描分離透明基板上的頂部/底部特征。

產(chǎn)品特點：

  • 實現(xiàn)亞納米薄膜涂層、納米顆粒、劃痕、凹坑、凸起、應(yīng)力點和其他缺陷的全表面掃描和成像。

  • 實用于透明、硅、化合物半導(dǎo)體和金屬基底。

  • 在3分鐘內(nèi)掃描并顯示150毫米晶圓。

  • 可以標(biāo)刻出缺陷的位置，以便進(jìn)一步分析。

  • 可容納高達(dá)300 x 300 mm的非圓形和易碎基板。

  • 能夠通過一次掃描分離透明基板上的頂部/底部特征。

Lumina AT1薄膜缺陷檢測儀系統(tǒng)優(yōu)勢的四個檢測通道：

  • 偏光（污漬、薄膜不均勻性） 

  • 坡度（劃痕、表面形貌）

  • 反射率（內(nèi)應(yīng)力、條紋）

  • 暗場（顆粒、夾雜物）



AT1應(yīng)用：

1.透明基底上的缺陷

Lumina AT1薄膜缺陷檢測儀

Lumina AT1薄膜缺陷檢測儀

Lumina AT1薄膜缺陷檢測儀



2.單層污漬或薄膜不均勻性

Lumina AT1薄膜缺陷檢測儀

3.化合物半導(dǎo)體的晶體缺陷

Lumina AT1薄膜缺陷檢測儀

在化合物半導(dǎo)體基底和外延生長層上檢測和分類多種類型的晶體缺陷

AT1的多用途：

  • 缺陷類型

  • 薄厚基板

  • 透明和不透明基板

  • 電介質(zhì)涂層

  • 金屬涂層

  • 鍵合硅片

  • 開發(fā)和在線生產(chǎn)


AT1 軟件使用來自多個探測器任意組合的數(shù)據(jù)生成缺陷圖和報告：

  • 地圖和位置

  • 缺陷數(shù)量

  • 彩色編碼缺陷

  • 缺陷尺寸


Lumina AT1薄膜缺陷檢測儀



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